いつもお世話になっております。

https://winactor.com/questions/question/%e3%80%90%e6%96%87%e5%ad%97%e5%88%97%e7%bd%ae%e6%8f%9b%e3%80%91txt%e3%83%95%e3%82%a1%e3%82%a4%e3%83%ab%e3%82%92csv%e3%83%95%e3%82%a1%e3%82%a4%e3%83%ab%e3%81%ab%e5%a4%89%e6%8f%9b%e3%81%99%e3%82%8b/

の派生です。

【やりたいこと】txtをcsvに変換
【現在のシナリオ】以下の画像を参照

①ファイル一覧（ファイル数）取得：フォルダ名の数を変数「ファイル数」に格納する。
②変数値コピー：変数「ファイル数」を変数「カウンタ」にコピーする。
③待機ボックス（確認用、本番稼働時は削除するノード）
④分岐：変数「カウンタ」＞「値⇒0」で分岐
⑤繰り返し：変数「カウンタ」＞「値⇒0」
⑥カウントダウン：変数「カウンタ」の数値を-1する。
⑦サブルーチン呼び出し（下記2.1～2.8）
---サブルーチン（txtファイルをcsvに変換する）---
2.1 ファイル検索：ファイル名フィルタを「値⇒*.txt」、ファイルパス格納先を変数「txtファイル」に設定
2.2 変数値コピー：変数「txtファイル」を変数「csvファイル」にコピーする。
2.3 分岐：変数「txtファイル」等しくない「値⇒（空欄）」
2.4 Excel開く（前面化）：変数「ファイル名」でExcelを開く。
2.5 文字列置換：変数「csvファイル」のtxtをcsvに置換。
2.6 Excel操作（CSV形式で保存）：変数「txtファイル」のcsvを保存。実行結果は使わないので、変数「ダミー」とする。保存ファイル名を変数「csvファイル」にする。
2.7 ファイル削除：変数「txtファイル」を削除。
2.8 Excel操作（すべて閉じる）

【問題】
部分実行した時に、最後のループ時において、上図2.7で以下のエラーが出ます。
スクリプトに実行に失敗しました。
エラー番号：5
内容：プロシージャの呼び出し、または引数が不正です。

【質問】
エラーの解消方法をご教授お願いします。

よろしくお願いいたします。

（6/25追記：誤解招きそうなので、タイトルと問題・質問を変更させていただきました）